La historia del desarrollo de los sistemas microelectromecánicos
De hecho, antes de la conferencia de Feynman, los científicos habían desarrollado con éxito un motor del tamaño de una uña. Sin embargo, Feynman creía que estos resultados de investigación eran todavía primitivos y difíciles en el camino hacia la miniaturización, y todavía se encontraban en las primeras etapas de la tecnología. Concluyó que "después de esto habrá un pequeño mundo más impactante". Imaginó que se podrían escribir 24 volúmenes de la Enciclopedia Británica en la punta de una aguja. Para hacer esto, simplemente reduzca el tamaño a 1/25000. La historia ha demostrado la visión de Feynman. La nanotecnología, los sistemas microelectromecánicos, la computación cuántica y el autoensamblaje molecular demuestran el enorme potencial del mundo diminuto.
El principio de los micromotores desarrollado en 1987 surgió de las ideas de este discurso, por lo que generalmente se cree que el punto de partida de la investigación MEMS fue 1959.
En 1962 aparece el primer microsensor de presión de silicio, pionero de los microdispositivos, que se caracterizaba por utilizar membrana de silicio, varistor y grabado de silicio en masa. Es el punto de partida para los microsensores MEMS y el micromecanizado a granel.
En 1967, Nathanson y otros del Laboratorio de Investigación Westinghouse informaron sobre el transistor de puerta resonante de silicio. Se caracteriza por la vibración de la compuerta excitante electrostáticamente, que es el punto de partida de los actuadores MEMS.
En 1968, Wallis y otros de Mallory Company informaron sobre la tecnología de unión electrostática del vidrio de silicio, que más tarde se convirtió en una de las principales tecnologías para el envasado de microsensores.
En 1978, Bassous y otros de IBM en Estados Unidos informaron sobre microboquillas de silicio. Es el punto de partida de la microestructura MEMS.
De 1979 a 1985, el campo de los MEMS, con sensores integrados como objetivo principal, se convirtió en un punto caliente por primera vez. Han surgido una tras otra varias nuevas tecnologías de procesamiento MEMS.
De 1987 a 1988 se llevaron a cabo una serie de conferencias técnicas sobre micromecánica y microdinámica. El término MEMS fue ampliamente utilizado en estas conferencias y gradualmente se convirtió en un término académico a nivel mundial. En la actualidad, la investigación y el desarrollo de MEMS se centra principalmente en tres aspectos: microsensores, microactuadores y microsistemas