La micronanotecnología es una tecnología de alta tecnología para fabricar y procesar objetos que varían en tamaño desde micras hasta cualquier nivel.

La micronanotecnología se refiere a la tecnología que puede procesar y fabricar objetos más pequeños que la escala de un metro, especialmente para procesar y fabricar objetos pequeños. Es un método que permite a las máquinas procesar objetos a escala de micras mediante un control preciso. . La tecnología de fabricación de objetos.

Micro y nanotecnología (MEMS, nano?tecnología) es la abreviatura de tecnología de sistemas microelectromecánicos (MEMS) y nanociencia y tecnología (nano?ciencia?y?tecnología,?nano?ST). Es una ciencia y tecnología de alta tecnología que surgió en países desarrollados como Estados Unidos y Japón a finales de los años 1980. Debido a sus enormes perspectivas de aplicación, la micro y la nanotecnología han recibido amplia atención por parte de gobiernos y académicos de varios países desde sus inicios, y es uno de los campos de investigación populares en la comunidad científica y tecnológica actual.

La tecnología de sistemas microelectromecánicos implica principalmente la investigación y el desarrollo de sensores, microactuadores y microsistemas en el rango de escala de 0,1 μm a varios milímetros. Utiliza silicio monocristalino como material básico y se centra en el procesamiento paralelo de fotolitografía. Características: Como método de procesamiento se utiliza equipo de proceso microelectrónico combinado con otros equipos de proceso especiales.

La escala nanométrica generalmente se refiere a 1 ~ 100 nm. La nanociencia es la ciencia que estudia el movimiento y los cambios de átomos, moléculas y otros tipos de sustancias dentro del rango de la nanoescala, y manipula átomos, moléculas, etc. mismo rango de escala. La tecnología y la tecnología de procesamiento se denominan nanotecnología, y el sistema electromecánico a nanoescala se denomina sistema nanoelectromecánico.