El proceso de desarrollo de la termopila (sensor de flujo de calor de resistencia térmica) del sensor de flujo de calor

Desde que el profesor Henky de Alemania fabricó el primer sensor de flujo de calor en 1914:

Fase 1: Sensor de flujo de calor bobinado

En los años 20 del siglo pasado siglo Desde la década de 1990, las termopilas se fabrican mediante un proceso de galvanoplastia sobre cables de termopar hechos de alambre de Constantan u otros materiales.

Estructura típica: use alambre metálico (como Constantan) para enrollar primero una bobina en numerosos listones aislantes, y luego la mitad de la bobina de alambre metálico (como Constantan) se recubre con otro metal (como cobre). ), formando numerosos termopares conectados en serie a ambos lados de la tira aislante, es decir, bobinas de termopar conectadas en serie, la intersección de cobre y constanten forma los nodos fríos y calientes (termopila) del termopar. Después de soldar varias termopilas en serie o en paralelo, se unen de forma plana entre dos placas protectoras aislantes planas de silicona para formar un sensor de flujo de calor.

Etapa 2: Sensor semiconductor de flujo de calor

A partir de finales de la década de 1960, se utilizaron procesos semiconductores para fabricar termopilas.

Estructura típica: La termopila se fabrica mediante tecnología de semiconductores sobre una oblea de silicio, y generalmente está protegida por un embalaje de resina epoxi.

Etapa 3: Sensor de flujo de calor ultrafino (película delgada)

A partir de mediados de la década de 1990, se utilizaron procesos de fabricación de circuitos integrados a gran escala: tecnología de pulverización catódica o grabado láser para fabricar termoelectricos.

Estructura típica: La termopila se fabrica mediante tecnología de pulverización catódica y grabado láser, y generalmente está protegida por un embalaje de película de poliimida. Sensor de flujo de calor bobinado Sensor de flujo de calor semiconductor El sensor de flujo de calor ultrafino (película delgada) está hecho a mano, la mala coherencia entre las características de cada sensor no está hecha a mano, la buena coherencia entre las características de cada sensor no está hecha a mano y la coherencia entre las características de cada sensor no es Buena baja resolución, >10 W/m2 Alta resolución, <10 W/m2 Alta resolución, <0,1 W/m2 Rango pequeño, rango segmentado Rango grande, rango de temperatura de funcionamiento grande Pequeño, segmentado trabajo Amplio rango de temperatura, amplio rango de temperatura de funcionamiento, tiempo de respuesta lento, tiempo de respuesta relativamente rápido, típico 0,1 s, tiempo de respuesta rápido, hasta 20 ms, aproximadamente 3 mm de espesor, aproximadamente 1 ~ 1,5 mm de espesor, espesor ultrafino inferior a 0,4 mm, susceptible a los cambios ambientales, no susceptible a los cambios ambientales El impacto de los cambios suprime efectivamente el impacto de los cambios ambientales Flexible, no flexible, flexible