Patente Wang Kaiqing de la Universidad de Tsinghua
[Invención] Rectificadora óptica y método para procesar sustratos de cristal austenítico para semiconductores
Patente No. 200310121135.5
Estatus legal actual Sin derechos- Derecho a transferir cuotas anuales impagas
Resumen: La presente invención pertenece al campo técnico del procesamiento de superficies de elementos ópticos y se relaciona con una máquina rectificadora óptica y un método para procesar sustratos de cristal austenítico para semiconductores. La amoladora incluye un marco, un panel de mesa, un recipiente de agua, un motor y un eje giratorio vertical impulsado por el motor. Un disco abrasivo inferior, un mecanismo de soporte y presión para el disco abrasivo superior y un disco abrasivo superior colocado en el inferior. el disco abrasivo está instalado sobre el eje giratorio y el dispositivo de suministro de refrigerante está compuesto por un chasis, una corona dentada interna, un engranaje planetario de dientes externos y múltiples placas móviles dispuestas en el chasis. El método de procesamiento incluye el uso de carburo de silicio como disco abrasivo, carburo de boro como abrasivo para el pulido basto y fino, una película de poliuretano como revestimiento de pulido y un líquido pulidor de óxido de silicio para el pulido. La invención tiene las características de alta eficiencia de procesamiento, bajo costo de procesamiento y alta precisión de procesamiento, puede cumplir con los requisitos de procesamiento de sustratos de cristal azul óptico para semiconductores y favorece la industrialización.
[Modelo de utilidad] Rectificadora óptica - 200320127697.6
Sin derechos - tarifa anual impaga
Solicitante: Wang Kaiqing
Fecha de solicitud: 2003-12-16
Resumen: El modelo de utilidad pertenece al campo técnico del procesamiento superficial de elementos ópticos y se relaciona con una máquina rectificadora óptica y un método para procesar un sustrato de cristal de zafiro semiconductor. La amoladora incluye un marco, un panel de banco de trabajo, un recipiente de agua, un motor y un eje giratorio vertical impulsado por él, un disco abrasivo inferior instalado en la parte superior del eje giratorio, un mecanismo de presión y soporte del disco abrasivo superior, y un mecanismo de presión y soporte del disco abrasivo superior. disco abrasivo colocado en el disco abrasivo inferior y el dispositivo de suministro de refrigerante está compuesto por un chasis, una corona dentada interna dispuesta en el chasis, un engranaje planetario de dientes externos y varias placas móviles. El modelo de utilidad tiene alta eficiencia de procesamiento, bajo costo de procesamiento y alta precisión de procesamiento, puede cumplir con los requisitos de procesamiento de sustratos de cristal de zafiro óptico semiconductor y favorece la industrialización.
Proceso de molienda para sustrato de cristal de zafiro óptico
Sin reclamo, sin pago de tarifa anual
Número de solicitud: 03141638.1
Fecha de solicitud: 2003 -07-16
Resumen: La invención describe un proceso de rectificado para un sustrato de cristal de zafiro óptico, que incluye principalmente los pasos de rectificado basto, rectificado fino y pulido. La tasa de paso único del sustrato de cristal de zafiro obtenido mediante el proceso de rectificado de la presente invención es superior a 98,5, la rugosidad de la superficie del sustrato es inferior a 0,3 nanómetros, la planitud es inferior a 5 micras, la planitud y el paralelismo son ±0,025 mm, y el espesor y la tolerancia dimensional es inferior a ±0,025 mm.
Solicitante: Wang Kaiqing
[Modelo de utilidad] Equipo de rectificado de precisión de doble cara
Número de patente: 03255659.4
Sin derechos no pagados Anual tarifa
Solicitante: Shanghai Xinhuaxia Industrial Co., Ltd.: Shanghai Xinhuaxia Industrial Co., Ltd. 07-16
Resumen: El modelo de utilidad se refiere a un rectificado de precisión de doble cara Equipo de rectificado, que incluye torno, estación de control de operación, dispositivo neumático, bomba de fluido de rectificado, sistema de control eléctrico y también incluye un husillo instalado en el extremo del torno, cuyo extremo inferior está conectado a la caja de engranajes del husillo instalada dentro del torno. , y el extremo superior del husillo están instalados engranajes, y los dos bordes exteriores del eje principal están equipados respectivamente con un disco abrasivo inferior y un engranaje interno que gira coaxialmente con el eje principal. La rotación de la placa de molienda inferior y la corona dentada interna; el extremo de la placa de molienda inferior puede estar provista de una rueda planetaria que puede girar y engranar con el engranaje en el eje principal y la corona dentada interna; se mueve hacia arriba y hacia abajo a través de una varilla deslizante y controlado por un dispositivo neumático. El voladizo se instala en el punto de apoyo en un extremo de la cama. El modelo de utilidad tiene una estructura simple, un precio bajo, un mantenimiento conveniente y un costo de procesamiento reducido, y puede usarse para moler sustratos de cristal de zafiro óptico.