Pulido en spray de diamante
Un fluido de pulido de nanodiamantes a base de agua y su método de fabricación, que incluye principalmente nanodiamantes, modificador, dispersante y/o hiperdispersante, regulador de pH, regulador de humectación, aditivos químicos y agua desionizada. Sus métodos de fabricación incluyen principalmente: 1. Dispersar los agregados de nanodiamantes en pequeños agregados con un tamaño de partícula promedio de 20 ~ 100 nm mediante modificación mecanoquímica; eliminar las partículas gruesas y otras impurezas en la suspensión 3. Agregar reguladores (agentes humectantes) y estabilizadores de dispersión, ajustadores de pH, aditivos químicos y agua desionizada; para ajustar las características de humectación de la pieza de trabajo y el fluido de pulido, y dispersar a través de ondas ultrasónicas y/o agitación.
La presente invención se puede utilizar para el pulido de ultraprecisión de diversos cristales fotoeléctricos, sustratos de discos duros de computadoras, componentes ópticos, circuitos integrados semiconductores conectados en cobre, etc., y la rugosidad de la superficie de los productos se puede reducir. reducido a subnanómetros.